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ALICAT 氣體質量流量計 20系列
量程 0.5 SCCM - 6000 SLPM，優于 1% 的精度，測量范圍廣，優于 10 ms 響應時間
美國 ALICAT 20 系列標準型氣體質量流量計，采用內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳
感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。具有 NIST 可溯源校準證書。可用于快速精確地測量過程氣體的質量流量、體積流量、壓力和溫度，適用于多種流量測控場合。
應用及案例
● 大學/研究所 ● 泄漏檢測
● 環境監測 ● 真空行業及鍍膜
● 工業爐窯 ● 半 導 體
● 汽車制造 ● 光 伏
● 燃料電池 ● 計量校準
● 過程工藝氣體測量
產品特色
● 數字化產品
● 多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 可選高精度：優于0.5%讀數
● 可測范圍廣，0.01~100%滿量程
● 響應時間快，優于10 ms
● 內置98種氣體
● 可現場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣
技術指標
介質要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質種類 內置了98種氣體，請參考背面
一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇
量 程 從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM（詳情請咨詢）
測量范圍 0.01～100%滿量程
最大顯示流量 128 % 滿量程
顯 示 屏 帶背光燈按鍵，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度 ± （0.8 % 讀數 + 0.2 % 滿量程）精度升級部分見左下角
± （0.4 % 讀數 + 0.2 % 滿量程）（可選）
累計流量精度 流量精度之外增加± 0.5 %讀數額外誤差
重 復 性 ± （0.2 %讀數+0.02 %滿量程）
質量流量溫度零點和滿量程漂移 0.02%滿量程/ ℃（從25℃開始）
質量流量壓力零點和滿量程漂移 ±（0.08 % 讀數 + 0.02 % 滿量程）/ Atm（從校準壓力開始）
響應時間 優于10 ms （與流量相關）
預熱時間 < 1 s
默認標況（STP） 25 ℃&1Atm（其它標況可調）
工作溫度 -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項）
溫度精度 ± 0.75 ℃
工作濕度 0 ～ 95%，無冷凝
最大工作壓力 1 MPa 表壓（可選2 MPaG高壓系列）
最低操作壓力 如果不做真空特殊標定，建議在絕壓80 KPa以上使用；
其他真空壓力建議做特殊標定
壓力精度 ± 0.5 % 讀數（讀數＞1 Atm），或 ± 0.07 PSIA（＜1Atm）
最大進出口壓差 0.5MPa
滿量程壓損 參考詳細壓損表
數據刷新頻率 數字信號40 Hz@ 19200波特率；
模擬信號：1000 Hz
屏幕刷新頻率 10 Hz
數字輸入/輸出信號 RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、
DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus
模擬輸入/輸出信號 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可選第二路模擬輸出 質量流量、體積流量、壓力、溫度
模擬信號精度 在基礎誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差
供電電壓 9-24 VDC （如選4 - 20 mA或0-10VDC輸出，須為12 - 24VDC）
供電電流 40mA，額外加 40 mA（ 4 - 20 mA或0-10VDC輸出）
電氣接口 DB9M，可選DB15、6針工業接頭、8針Mini-DIN等
泄漏率（外漏） 選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 質 302、303、304、316L不銹鋼、FKM、硅橡膠、環氧樹脂、聚酰胺、玻璃、硅、金、陶瓷
過程連接 詳情參考壓損表
安裝方式 對位置無要求
防護等級 IP40
認 證 ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH、CSA （可選）
精度升級
量程為 0.5 SCCM - 6000 SLPM，
其中 10 SCCM - 20 SLPM 量程段，下述指標升級：
質量流量普通精度 ± 0.6% 讀數或 ± 0.1% 滿量程（取最大值）
質量流量高精度 ± 0.5% 讀數或 ± 0.1% 滿量程（取最大值）
重復性 ±（0.1% 讀數 + 0.02% 滿量程）
質量流量零點漂移 ± 0.01% 滿量程 / ℃（從 25 ℃開始）
± 0.01% 滿量程 / Atm（從校準壓力開始）
質量流量量程漂移 ± 0.01% 讀數 / ℃（從 25 ℃開始）
± 0.1 % 讀數 / Atm（從校準壓力開始）
選項配件
● 標準性能
多功能數字顯示屏
顯示多種測量參數：質量流量、體積流量、溫度和壓力
低壓損
無需預熱
Viton密封
8針mini-DIN電信號接口
標準圓形電源接口
RS-232多點式數字輸出
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多種模擬信號輸出可選
內置30種氣體可選
200:1量程可調比
NPT接頭
可測量從0.5SCCM到3000SLPM的滿量程的任何流量
有條件的終身質保
● 可選性能
高精度
累加器
6針、DB9或DB15電信號接口
ProfiBUS數字信號輸出
RS-485數字信號輸出
4-20mA模擬信號輸出
第二種模擬信號輸出
TFT背光彩色顯示屏
遠程顯示屏
遠程TFT背光彩色顯示屏
丙烯酸絕緣涂層
EPDM密封
NeSSI本體
氧氣清潔
用于高溫環境的遠程電子包裝
SAE接頭
VCR, VCO接頭
5VDC、12VDC、24VDC排氣量報警(過高或過低)
雙向流動
額外標定點
定制混個氣體（最多4種）
定制流量范圍
操作手冊
朗潤達-ALICAT 簡易操作說明-氣體質量流量計21V1.pdf
機構認證
尺寸詳圖
尺寸連接
滿量程質量流量計 | 滿量程壓損1（psid） 排氣到大氣中 | 外觀尺寸 | 連接接口2 |
0.5 sccm - 1 sccm | 1.0 | 3.9''H ×2.4''W ×1.1''D | M-5 （10-32）（內螺紋） （Buna-N表面密封至1/8''NPT內螺紋） |
2 sccm - 50 sccm | 1.0 | ||
100 sccm - 20 slpm | 1.0 | 4.1''H ×2.4''W ×1.1''D | 1/8''NPT內螺紋 |
50 slpm | 2.0 | 4.4''H ×4.0''W ×1.6''D | 1/4''NPT內螺紋 |
100 slpm | 2.5 | ||
250 slpm | 2.1 | 5.0''H ×4.0''W ×1.6''D | 1/2''NPT內螺紋 |
500 slpm | 4.0 | 5.0''H ×4.0''W ×1.6''D | 3/4''NPT內螺紋 （2000 SLPM 可選配1-1/4''NPT內螺紋） |
1000 slpm | 6.0 | ||
2000 slpm | 5.0 | 5.3''H ×5.2''W ×2.9''D | |
3000 slpm | 7.1 | 5.3''H ×5.2''W ×2.9''D | 1-1/4''NPT內螺紋 |
5000 slpm | 4.5 | 6.3''H ×5.6''W ×3.9''D | 1-1/2''NPT內螺紋 |
1、可選低壓損選項 2、與Beswick?，Swagelok?管，Parker?，表面密封，快接接頭和卡套轉接頭相兼容，也可以按照用戶需求與VCR，SAE接頭相兼容。 | |||
產品大圖
型號列表
見“尺寸連接”。
氣體編碼
* 混合氣體編碼為“800”，選項中須有具體混合氣體比例說明。
* 對于液體流量計和控制器，液體指純水，液體編碼為“900”。
* ALICAT非抗腐蝕流量計/控制器產品，可支持①類氣體。
* ALICAT抗腐蝕流量控制器產品，可支持①、②類氣體。
* ALICAT抗腐蝕流量計產品，可支持①、②、③類氣體。
* 未在表中列出的氣體，也可能被測控，具體請咨詢我們。
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