ALICAT 低壓損氣體質量流量控制器 21W系列

量程0.5 SCCM - 1000 SLPM，優于1 %的精度，量程可控比寬,優于100 ms響應時間

美國ALICAT 21W系列低壓降質量流量控制器，采用內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。具有NIST可溯源校準證書。
21W系列具有超低壓損，滿量程壓損最低可達480 Pa。21W系列可用于快速精確地測量過程氣體的質量流量、體積流量、壓力和溫度，適用于多種流量測控場合，尤其是要求低壓損的應用場合。

應用及案例

●  低溫容器檢測

●  大學/研究所

●  泄漏檢測

●  環境監測

●  汽車制造

●  過程工藝氣體測量

產品特色

●  數字化產品

●  多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

●  多參數可控：質量流量、體積流量和壓力

●  可選高精度：可優于0.5 %讀數

●  量程可控比寬，0.5~100 %滿量程

●  滿量程超低壓損最低為480 Pa

●  閥門響應時間快，優于100 ms

●  內置98種氣體

●  可現場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣

精度升級

量程為0.5 SCCM - 1000 SLPM，

其中10 SCCM - 100 SLPM量程段，下述指標升級：

質量流量普通精度      ± 0.75% 讀數或± 0.1% 滿量程（取最大值）

質量流量高精度         ± 0.6% 讀數或± 0.1% 滿量程（取最大值）

重復性                       ±（0.1%   讀數 + 0.02% 滿量程）

質量流量零點漂移      ± 0.03% 滿量程 / ℃溫差

                                  ± 0.01% 滿量程 / Atm壓力差

質量流量量程漂移      ± 0.01% 讀數 / ℃溫差

                                  ± 0.1 % 讀數 / Atm壓力差

技術指標

介質要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質種類    內置了98種氣體，請參考氣體兼容表

                   一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇

量       程     從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM

量程可控比    0.5～100%滿量程

最大顯示流量    128 %滿量程            

最大可控流量    102.4 % 滿量程

顯  示  屏    帶按鍵背光開關，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度

精       度    ±（0.8 % 讀數 + 0.2 % 滿量程）  精度升級部分見左下角

                  ±（0.4 % 讀數 + 0.2 % 滿量程）（可選）

累計流量精度    流量精度之外增加±0.5%讀數誤差

重  復  性    ±（0.2 %讀數+0.02 %滿量程）

質量流量溫度零點和滿量程漂移    0.03%滿量程/ ℃（從25℃開始）

質量流量壓力零點和滿量程漂移    ±（0.08 % 讀數+ 0.02 % 滿量程）/ Atm

                 （從校準壓力開始）

控制響應時間（T63，用戶可調）     小閥門：30 ms；R閥門：150 ms

顯示響應時間     127 ms（用戶可調）            

預熱時間    ＜ 1 s

默認標況（STP）    25 ℃ & 1Atm（其它標況可調）  

閥門功能     常閉型

工作溫度    -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項）

溫度精度    ± 0.75 ℃                        

工作濕度    0 ～ 95 %，無冷凝

最大工作壓力    0.3 MPa表壓，進出口最大允許瞬時壓差70 Kpa

最低操作壓力    如果不做真空特殊標定，建議在絕壓80 KPaA以上使用； 

                   其他真空壓力建議做特殊標定

壓力精度    ± 0.75 %讀數（＞1 Atm），或±0.1 PSIA（＜1Atm）

滿量程壓損    參考詳細壓損表

數據刷新頻率    數字信號40 Hz@19200波特率；模擬信號：1000 Hz

屏幕刷新頻率    10 Hz

數字輸入/輸出信號    RS232、RS485、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT

                   EtherNet/IP、Profibus、Modbus RTU（RS232 / RS485）

模擬輸入/輸出信號    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出    質量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號精度    在基礎誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差

供電電壓    12 - 30 VDC 

供電電流     250 mA，1 A，2 A（詳情咨詢），額外加 40 mA（4-20 mA）

電氣接口    DB9M，可選DB15、6針工業接頭、8針Mini-DIN等

泄漏率（外漏）    選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材       質    302、303、304、430FR不銹鋼、Viton、硅橡膠、環氧樹脂、

                   玻璃增強聚苯硫醚、鋁、玻璃、硅、銅、金

                   R閥門430FR不銹鋼替換為410不銹鋼

過程連接    詳情參考壓損表

安裝位置    小閥門無要求，R閥門需閥體垂直向上安裝

防護等級    IP40

認    證    ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）

選項配件

待更新。

操作手冊

朗潤達-ALICAT 簡易操作說明-氣體質量流量控制器21V1.pdf

機構認證

待更新。

尺寸詳圖

尺寸壓損

產品大圖

氣體編碼

* 混合氣體編碼為“800”，選項中須有具體混合氣體比例說明。

* 對于液體流量計和控制器，液體指純水，液體編碼為“900”。

* ALICAT非抗腐蝕流量計/控制器產品，可支持①類氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量控制器產品，可支持①、②類氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量計產品，可支持①、②、③類氣體。

* 未在表中列出的氣體，也可能被測控，具體請咨詢我們。

宣傳彩頁

ALICAT 21W系列23V1.pdf